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河南三特STGC-60-12CVD真空管式電阻爐 CVD管式爐，主要為高等院校、科研院所、工廠企業(yè)等行業(yè)實(shí)驗(yàn)室提供高溫?zé)崽幚憝h(huán)境，可應(yīng)用于金屬材料、石墨材料、鋰電材料、晶體材料等新材料領(lǐng)域。
【產(chǎn)品名稱】1400℃-CVD管式爐 【爐管尺寸】φ25--φ120mm 【加熱區(qū)】300mm 【額定溫度】1400℃ 【控溫精度】±1℃ 【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
【產(chǎn)品名稱】1200℃-CVD梯度管式爐 【爐管尺寸】φ25--φ120mm 【加熱區(qū)】300mm+300mm 【額定溫度】1200℃ 【控溫精度】±1℃ 【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
【產(chǎn)品名稱】1700℃-CVD管式爐 【爐管尺寸】φ25--φ120mm 【加熱區(qū)】300mm 【額定溫度】1700℃ 【控溫精度】±1℃ 【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
【產(chǎn)品名稱】1200℃-PECVD管式爐系統(tǒng) 【爐管尺寸】φ40--φ100mm 【加熱區(qū)】300mm/440mm 【額定溫度】1200℃ 【控溫精度】±1℃ 【應(yīng)用領(lǐng)域】PECVD系統(tǒng)（等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）由管式爐、真空獲得、流量控制和射頻電源四大模塊組成。
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